文章來源：中國兵器工業(yè)集團公司 發(fā)布時間：2008-12-12
近日，從我國首條非硅微機電中試生產(chǎn)線的誕生地——中國兵器工業(yè)集團山西北方惠豐機電有限公司傳來喜訊，在該公司和西安機電信息研究所、北京理工大學(xué)、上海交通大學(xué)等院所的強強聯(lián)合下，經(jīng)過了廣大科技人員歷時3個多月的工藝開發(fā)，試制工作取得了階段性突破，通過采用非納米技術(shù)和國際尖端的三維半導(dǎo)體微細加工工藝，生產(chǎn)出了產(chǎn)品樣品，填補了國內(nèi)空白。
微機電系統(tǒng)是微米大小的機械系統(tǒng)，包括不同形狀的三維平板印刷產(chǎn)生的系統(tǒng)，屬于國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流的高新技術(shù)項目。非硅微機電中試生產(chǎn)線為國家專項投資，于2006年奠基，2007年竣工。
據(jù)悉，此次生產(chǎn)試制出的樣品與原部件相比體積縮小了七分之一，尺寸和精度均達到了設(shè)計要求，替代了傳統(tǒng)的機械部件，創(chuàng)新了設(shè)計思路和加工方法，實現(xiàn)了工藝創(chuàng)新的新跨越、新突破。同時，該項技術(shù)還可拓展到產(chǎn)品制造、汽車安全、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的高端制造，市場前景和經(jīng)濟效益十分看好，是兵器工業(yè)集團惠豐公司走出“紅海”、超越“藍海”、駛向“深海”的創(chuàng)新實踐。