高純鉭靶用超高純鉭粉
文章來源：中國有色礦業(yè)集團(tuán)有限公司 發(fā)布時間：2024-03-01
【成果簡介】
鉭是重要的稀有難熔金屬材料，具有良好的耐熱、耐蝕、耐氧化性，有優(yōu)越的抗原子遷移能力，是集成電路線寬45nm以下半導(dǎo)體芯片阻擋層優(yōu)選的濺射靶材料。東方鉭業(yè)生產(chǎn)的高純鉭靶用高純鉭粉純度達(dá)到了99.998%（4N8），其中難熔金屬W、Mo、Nb含量總和小于0.4ppm，達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平，完全可以滿足6N高純鉭靶用高純鉭粉的指標(biāo)要求，為國內(nèi)開發(fā)12英寸濺射鉭靶材提供關(guān)鍵材料支持。
【主要指標(biāo)】
（一）鉭粉W、Mo、Nb高熔點雜質(zhì)含量：W、Mo、Nb雜質(zhì)總和平均值小于0.35ppm
（二）鉭粉氧含量：鉭粉氧含量平均值小于600ppm
（三）高純鉭靶用超高純鉭粉純度：高純鉭粉純度達(dá)到99.998%（4N8）
【應(yīng)用推廣需求】
（一）應(yīng)用推廣方式：銷售
（二）應(yīng)用推廣領(lǐng)域：金屬材料
【成果圖片】
【聯(lián)系人】
集團(tuán)聯(lián)系人：陳勝川，18209520981，chenshengchuan@cnmc.com.cn
成果聯(lián)系人：張學(xué)林，15121968359，262272409@qq.com
【責(zé)任編輯：賈建慧】
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